Setra公司Model 730高精度真空計(jì)

Model 730真空計(jì)使用Setra獲**的可變電容傳感器作為壓力感應(yīng)元件，精度極高。位于中央的饋通組件支撐著與膜片后表面緊密相鄰的圓形電極。電極與膜片共同構(gòu)成小型基準(zhǔn)真空室的可變電容器。當(dāng)壓力提高時(shí)，膜片變形，使得與電極間的距離減小，造成電容升高。該電容變化會(huì)被Setra的高頻精密二極管橋式電路檢測(cè)到，并轉(zhuǎn)化為高度準(zhǔn)確的線性直流信號(hào)。
Setra公司Model 730高精度真空計(jì)采用獲**的傳感器，擁有出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性，且對(duì)氣壓極不敏感。其傳感器無(wú)任何常見(jiàn)于陶瓷電容式壓力計(jì)的脆弱或復(fù)雜部件。此外，產(chǎn)品采用全焊接結(jié)構(gòu)，不會(huì)像其他競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品一樣存在不同材料間摩擦引起的內(nèi)在不穩(wěn)定性問(wèn)題。

Setra公司Model 730高精度真空計(jì)是一種溫度補(bǔ)償型的**壓力傳感器，專(zhuān)為準(zhǔn)確、可重復(fù)的真空測(cè)量而設(shè)計(jì)。它可選從10 Torr到1000 Torr的多種滿量程范圍，測(cè)量單位包括Torr (mmHg)、mBar、kPa和PSIA。Model 730真空計(jì)的電源范圍為12-30 VDC，可提供與壓力成正比的0-10 VDC信號(hào)輸出（與氣體成分無(wú)關(guān)）。此外，也可使用9-30 VDC電源，提供0-5 VDC輸出。Model 730真空計(jì)金屬外殼以及 ESD抑制組件以及輸入輸出RFI濾波功能結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)**的EMI/R-FI性能。Model 730可以輕松使用多圈電位計(jì)進(jìn)行零點(diǎn)微調(diào)。所有接液材料均使用Inconel，兼容腐蝕性氣體。可選類(lèi)型眾多的過(guò)程連接件。
Setra公司Model 730高精度真空計(jì)是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱(chēng)電容式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場(chǎng)中測(cè)量對(duì)過(guò)程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá)±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類(lèi)產(chǎn)品。Moldel 730型使用全I(xiàn)nconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測(cè)量設(shè)計(jì)，它能準(zhǔn)確測(cè)量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

Setra公司Model 730高精度真空計(jì)技術(shù)規(guī)格
性能數(shù)據(jù)：
精度1± 0.5%讀數(shù)，可選± 0.25%讀數(shù)
分辨率：無(wú)限制。僅受輸出噪聲水平影響(≤0.005% FS)
溫度影響：
補(bǔ)償范圍：0到+50°C
零點(diǎn)漂移：< ± 0.25% FS/50 °C
量程漂移：< ± 1.35% Rdg/50°C
長(zhǎng)期穩(wěn)定性：±0.5% FS/年（不考慮環(huán)境影響）
耐壓：45 psia
環(huán)境數(shù)據(jù)：
工作溫度：0到+80°C
儲(chǔ)存溫度：-20到+85°C
電氣數(shù)據(jù)（電壓）：
連接器：6”芯線纜上的9針D-Sub、15針D-sub或5針端子排
激勵(lì)/輸出：0至10 VDC輸出時(shí)為12至30 VDC；0至5 VDC輸出時(shí)為9至30 VDC
輸出負(fù)載： >10 K負(fù)載
功耗： < 200 mW
時(shí)間常數(shù)： < 20 ms
EMC性能： 符合EMC指令2004/108EC
物理數(shù)據(jù)：
外殼： 不銹鋼
真空接頭： 0.25”或0.5”外徑管；也可提供其他接頭；
請(qǐng)參見(jiàn)技術(shù)手冊(cè)
接液材料2： Inconel®
測(cè)量室體積3： <6.0 cc
重量（近似值）： <250 g
合規(guī)：符合EU RoHS規(guī)范，CE

適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過(guò)程中的理想選擇。

Setra公司Model 730高精度真空計(jì)Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對(duì)半導(dǎo)體和工業(yè)真空過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)具有非常高的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)， 確保Model 730型在這類(lèi)應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。

Setra公司Model 730高精度真空計(jì)直接壓力測(cè)量
內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同，MODEL 730型測(cè)量直接壓力， 不受被測(cè)混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)。

Setra公司Model 730高精度真空計(jì)應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體**器
·真空包裝